本實(shí)用新型涉及真空集成系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
使用多個(gè)羅茨真空泵串聯(lián)，最后一級(jí)的羅茨真空泵的排氣步入后續(xù)的可以直排的大氣真空泵組成的真空集成系統(tǒng)是現(xiàn)今最為常見的一種羅茨真空泵應(yīng)用方法。主要由于，盡管羅茨真空泵具有抽氣能力大，真空度較高時(shí)煤耗十分低，可以達(dá)到的真空度十分高，以及成本低廉等優(yōu)勢(shì)，而且羅茨真空泵并不能直接排大氣，所以羅茨真空泵在真空集成系統(tǒng)中，不能單獨(dú)使用，只能作為功放的增壓泵，同時(shí)必需要使用一個(gè)可以獨(dú)立使用的真空泵，比如液環(huán)真空泵，螺桿真空泵，滑閥真空泵，旋片真空泵等。才才能確保真空系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
這些羅茨真空泵多級(jí)串聯(lián)配備獨(dú)立直排大氣的真空泵構(gòu)成的真空集成系統(tǒng)，有一個(gè)最大的問題，就是當(dāng)真空系統(tǒng)的入口壓力比較高時(shí)(即更接近與大氣壓值時(shí))，羅茨真空泵是難以運(yùn)行的，此時(shí)整個(gè)真空集成系統(tǒng)的抽氣能力只能借助最后一級(jí)的可獨(dú)立直排大氣的真空泵來提供。通常對(duì)于這樣的真空集成系統(tǒng)，常常可獨(dú)立直排大氣的真空泵的抽氣能力都比較小，一是多數(shù)的真空應(yīng)用是起到真空維持，此時(shí)真空系統(tǒng)的入口壓力較低，而在這個(gè)工況，羅茨真空泵可以穩(wěn)定運(yùn)行，通過多個(gè)羅茨真空泵的串聯(lián)，逐級(jí)壓縮后，最后起到牽引(致使最后一級(jí)羅茨真空泵的排氣壓力是較高的負(fù)壓)的可獨(dú)立直排大氣的真空泵并不須要太大的抽氣能力，并且在粗真空時(shí)，缺乏了羅茨真空泵的能力，則變得能力十分不足，這也造成顧客的系統(tǒng)在早期啟動(dòng)時(shí)，由于容器腔體較大，可能還有一定的泄露量以及漏氣負(fù)載，所以僅靠可以維持高真空時(shí)抽氣能力的可獨(dú)立直排大氣的真空泵進(jìn)行抽吸須要花費(fèi)大量時(shí)間，才可能達(dá)到羅茨真空泵容許啟動(dòng)運(yùn)行的壓力，若是像冶金抽濾，煙草脫臭等行業(yè)須要頻繁從大氣壓快速抽真空，致使容器內(nèi)壓力在短時(shí)間內(nèi)增加到較高真空，則之前所述的方案就很難滿足工藝要求。
為了提升粗真空的抽氣能力，降低羅茨真空泵啟動(dòng)的等待時(shí)間，現(xiàn)有改良的工藝有兩種，1是降低可獨(dú)立直排大氣的真空泵的數(shù)目，在入口壓力較高時(shí)，羅茨真空泵還不能有效介入運(yùn)行時(shí)，該真空泵全部運(yùn)行，當(dāng)入口壓力逐漸減少，等羅茨真空泵有效介入時(shí)，該真空泵則會(huì)停用其中的幾臺(tái)。這些方法可以同時(shí)兼具粗真空和高真空時(shí)的抽氣能力需求。并且缺點(diǎn)是，使用的功放的真空泵數(shù)目會(huì)增多，同時(shí)后一級(jí)配備的管線，球閥數(shù)目也將增多，若是該真空泵是螺桿濕式真空泵，則會(huì)急劇增強(qiáng)系統(tǒng)集成的成本。真空系統(tǒng)的占地面積也會(huì)急劇降低。
另一種則是對(duì)羅茨真空泵采取矢量變頻控制，在粗真空時(shí)，羅茨真空泵就提早啟動(dòng)運(yùn)行，通過矢量變頻器的限制怠速形式(恒力矩)，致使此時(shí)羅茨真空泵在低速運(yùn)行，由于羅茨真空泵的軸功率是入口壓力值x怠速，當(dāng)軸功率超過了馬達(dá)最大輸出功率，則變頻器會(huì)限制羅茨真空泵的怠速，因而確保了馬達(dá)電壓不會(huì)超過額定負(fù)載。即使這樣做，可以促使羅茨真空泵在入口壓力很高時(shí)就可以介入運(yùn)行，并且要促使羅茨真空泵獲得有效的抽氣能力，則須要達(dá)到一定的怠速，而為了達(dá)到指定的怠速，則此時(shí)須要特別大的軸功率，因而須要配備滿足軸功率的馬達(dá)和變頻器。因而會(huì)導(dǎo)致整個(gè)集成真空系統(tǒng)的裝機(jī)功率過大，而且急劇增強(qiáng)了系統(tǒng)集成的成本。并且前面維持真空時(shí)，羅茨真空泵的軸功率只有早期的10-15％左右，也會(huì)導(dǎo)致極大的浪費(fèi)。
所以要有一種優(yōu)化的設(shè)計(jì)方法和配備來解決上述問題，即要促使在粗真空時(shí)，羅茨真空泵還沒有介入運(yùn)行時(shí)，不須要降低獨(dú)立運(yùn)行的真空泵的抽氣能力下，也不須要降低太多的馬達(dá)裝機(jī)功率，真空集成系統(tǒng)就可以用較大的抽氣能力。到了高真空時(shí)，整個(gè)系統(tǒng)又可以全部投入運(yùn)行，不會(huì)導(dǎo)致真空泵的僅僅是多余為了節(jié)能而閑置。進(jìn)而實(shí)現(xiàn)最經(jīng)濟(jì)型真空集成系統(tǒng)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其才能兼具粗真空和高真空。
本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：
一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，包括一二級(jí)羅茨真空泵組、旁通管道、第四級(jí)羅茨真空泵、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥、第一三通切換閥和第三級(jí)真空泵；所述一二級(jí)羅茨真空泵組和旁通管道并聯(lián)，其進(jìn)氣道與主管道聯(lián)接，出氣口分別于第四級(jí)羅茨真空泵和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥聯(lián)接，所述旁通管道上安裝有旁通調(diào)節(jié)閥；所述第一三通切換閥的第一端口與第四級(jí)羅茨真空泵的排氣口聯(lián)接，第一三通切換閥的第二端口和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥的出氣口均與第三級(jí)真空泵的艙蓋聯(lián)接，第一三通切換閥的第三端口與第三級(jí)真空泵的排氣口均與排食道聯(lián)接。
進(jìn)一步，所述旁通管道上還安裝有過濾器和自動(dòng)截至閥，所述過濾器安裝在旁通調(diào)節(jié)閥和自動(dòng)截至閥之間。
進(jìn)一步，所述過濾器為兩個(gè)，兩個(gè)過濾器并聯(lián)設(shè)置，兩個(gè)過濾器與旁通調(diào)節(jié)閥之間、兩個(gè)過濾器與自動(dòng)截至閥之間均通過第二三通切換閥聯(lián)接。
進(jìn)一步，所述一二級(jí)羅茨真空泵組包括依次串聯(lián)的第一級(jí)羅茨真空泵和第二級(jí)羅茨真空泵。
進(jìn)一步，所述一二級(jí)羅茨真空泵組包括兩組，兩組一二級(jí)羅茨真空泵組并聯(lián)設(shè)置。
進(jìn)一步，還包括第五級(jí)羅茨真空泵和第三三通切換閥，所述第三三通切換閥的第一端口與第二級(jí)羅茨真空泵的排氣口聯(lián)接，第三三通切換閥的第二端口與第五級(jí)羅茨真空泵的吸氣口聯(lián)接，第三三通切換閥的第三端口和第五級(jí)羅茨真空泵的排氣口均與第四級(jí)羅茨真空泵的吸氣口聯(lián)接。
進(jìn)一步，所述第三級(jí)真空泵為兩個(gè)，兩個(gè)第三級(jí)真空泵并聯(lián)設(shè)置。
進(jìn)一步，所述第一級(jí)羅茨真空泵的吸氣口設(shè)有氣動(dòng)閥。
進(jìn)一步，所述第三級(jí)真空泵的吸氣口設(shè)有氣動(dòng)閥。
進(jìn)一步，所述第五級(jí)羅茨真空泵的排氣口設(shè)有自動(dòng)截至閥。
本申請(qǐng)的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下邊的描述中部份給出，部份將從下邊的描述中顯得顯著，或通過本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。
附圖說明
為了更清楚地說明本實(shí)用新型具體施行方法或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下邊將對(duì)具體施行方法或現(xiàn)有技術(shù)描述中所須要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。在所有附圖中，類似的器件或部份通常由類似的附圖標(biāo)記標(biāo)示。附圖中，各器件或部份并不一定根據(jù)實(shí)際的比列勾畫。
圖1為本申請(qǐng)施行例所提供的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，第一級(jí)羅茨真空泵1、第二級(jí)羅茨真空泵2、第五級(jí)羅茨真空泵3、第四級(jí)羅茨真空泵4、第三級(jí)真空泵5、旁通調(diào)節(jié)閥6、手動(dòng)截至閥7、氣動(dòng)閥8、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9、過濾器10、第一三通切換閥11、第二三通切換閥12、第三三通切換閥13。
具體施行方法
這兒，要說明的是，本實(shí)用新型涉及的功能、方法等僅僅是現(xiàn)有技術(shù)的常規(guī)適應(yīng)性應(yīng)用。因而，本實(shí)用新型對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，實(shí)質(zhì)在于硬件之間的聯(lián)接關(guān)系，而非針對(duì)功能、方法本身，也即本實(shí)用新型即使涉及一點(diǎn)功能、方法，但并不包含對(duì)功能、方法本身提出的改進(jìn)。本實(shí)用新型對(duì)于功能、方法的描述，是為了更好的說明本實(shí)用新型，便于更好的理解本實(shí)用新型。
下邊將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的施行例進(jìn)行詳盡的描述。以下施行例僅用于愈發(fā)清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，因而只作為示例，而不能借此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
須要注意的是，除非另有說明，本申請(qǐng)使用的技術(shù)術(shù)語或則科學(xué)術(shù)語應(yīng)該為本實(shí)用新型所屬領(lǐng)域技術(shù)人員所理解的一般意義。
該真空集成系統(tǒng)我們這樣定義，越是緊靠顧客真空需求，即真空集成系統(tǒng)吸入口處為第一級(jí)，二氧化碳順著第一級(jí)真空泵逐漸通過下一級(jí)，最后步入可以獨(dú)立運(yùn)行的真空泵，最后一級(jí)我們定義為功放泵。該功放泵可以是液環(huán)泵，也可以是螺桿真空泵或則滑閥真空泵等其它非羅茨真空泵的泵。
參見圖1，本申請(qǐng)一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，包括一二級(jí)羅茨真空泵組、旁通管道、第四級(jí)羅茨真空泵4、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9、第一三通切換閥11和第三級(jí)真空泵5；所述一二級(jí)羅茨真空泵組和旁通管道并聯(lián)，其進(jìn)氣道與主管道聯(lián)接，出氣口分別于第四級(jí)羅茨真空泵4和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9聯(lián)接，所述旁通管道上安裝有旁通調(diào)節(jié)閥6；所述第一三通切換閥11的第一端口與第四級(jí)羅茨真空泵4的排氣口聯(lián)接，第一三通切換閥11的第二端口和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9的出氣口均與第三級(jí)真空泵5的進(jìn)氣道聯(lián)接，第一三通切換閥11的第三端口與第三級(jí)真空泵5的排氣口均與排食道聯(lián)接。
工藝二氧化碳由主管道步入本真空系統(tǒng)，在主管道后分為兩路，一路步入一二級(jí)羅茨真空泵組，另一路步入旁通管道；當(dāng)入口壓力比較高時(shí)，一二級(jí)羅茨真空泵組關(guān)掉，此時(shí)旁通管道上的旁通調(diào)節(jié)閥6按照入口壓力值的比列打開一定的開度，致使二氧化碳由旁通管道步入第四級(jí)羅茨真空泵4和第五級(jí)真空泵5吸入口主管，避免氣流對(duì)真空泵進(jìn)行沖擊而造成的一二級(jí)羅茨真空泵組失速以及第四級(jí)羅茨真空泵4和第三級(jí)真空泵5瞬時(shí)氣流偏低；通過使用旁通調(diào)節(jié)閥6，致使球閥可以緩緩開啟，而且可以控制球閥前后的壓差，促使壓差逐漸減少，增加氣流對(duì)真空泵的沖擊。
第四級(jí)羅茨真空泵4可以配備較大的馬達(dá)功率，當(dāng)入口壓力較高時(shí)，第四級(jí)羅茨真空泵4與第三級(jí)真空泵5開始并聯(lián)抽吸來自旁通管道來的二氧化碳，如上述所說，通過旁路調(diào)節(jié)閥，可以控制球閥前后的壓差，促使壓差逐漸降低，減少對(duì)真空泵的沖擊，此時(shí)第四級(jí)羅茨真空泵4的功能是羅茨風(fēng)機(jī)，起到直排的作用，羅茨風(fēng)機(jī)在粗真空時(shí)，其抽氣能力是十分巨大的，它與第三級(jí)真空泵5構(gòu)成了一組單元，對(duì)整個(gè)真空集成系統(tǒng)在入口壓力較高時(shí)提供了十分大的抽氣能力。促使系統(tǒng)可以快速的增加壓力。
而當(dāng)壓力逐漸減少后，此時(shí)羅茨風(fēng)機(jī)的出力越來越低(彰顯在壓差增強(qiáng)了，則電壓急劇上升，由于壓縮比的逐漸增強(qiáng)，其發(fā)熱量也越來越大)，這個(gè)時(shí)侯關(guān)掉并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9，同時(shí)切換第四級(jí)羅茨真空泵4的排氣口的三通閥門，致使第四級(jí)羅茨真空泵4的排氣步入了第三級(jí)真空泵5，因而實(shí)現(xiàn)了串聯(lián)的功能，此時(shí)第四級(jí)羅茨真空泵4從羅茨風(fēng)機(jī)的功能有轉(zhuǎn)換成了羅茨真空泵，前后壓差頓時(shí)減少，其發(fā)熱量也增加，但是其軸功率也急劇的增加，并進(jìn)一步的提升了第四級(jí)真空泵入口的真空度，進(jìn)而提升了一二級(jí)羅茨真空泵組的抽氣效率和能力。
本申請(qǐng)將第四級(jí)羅茨真空泵4與第三級(jí)真空泵5設(shè)置為串并聯(lián)可轉(zhuǎn)換的結(jié)構(gòu)，除了可以降低功放泵的數(shù)目，又可以減少羅茨真空泵的高功率馬達(dá)的數(shù)目泵串聯(lián)和并聯(lián)的優(yōu)缺點(diǎn)，但卻可以實(shí)現(xiàn)了早期抽氣能力大，高真空時(shí)真空度高的特性。
旁通管道上還安裝有過濾器10和自動(dòng)截至閥7，過濾器10安裝在旁通調(diào)節(jié)閥6和自動(dòng)截至閥7之間。過濾器10為兩個(gè)，兩個(gè)過濾器10并聯(lián)設(shè)置，兩個(gè)過濾器10與旁通調(diào)節(jié)閥6之間、兩個(gè)過濾器10與自動(dòng)截至閥7之間均通過第二三通切換閥12聯(lián)接。
通過在旁通管道上安裝過濾器10，從旁通管道通過的氣流經(jīng)過濾膜10過濾后再步入第四級(jí)羅茨真空泵4或第三級(jí)真空泵5，避免氣流中攜帶的煙塵、雜質(zhì)步入第四級(jí)羅茨真空泵4或第三級(jí)真空泵5；過濾器10設(shè)置為兩個(gè)，兩個(gè)過濾器10并聯(lián)設(shè)置，一用一備，并通過三通切換閥實(shí)現(xiàn)管線的分路，不須要使用4個(gè)氣動(dòng)閥8門來控制，當(dāng)兩個(gè)第二三通切換閥12切換至第一過濾器10的通道時(shí)，第二過濾器10屬于完全阻斷的，這樣也易于在線更換或則清洗濾芯，對(duì)于顧客端會(huì)形成大量煙塵、顆粒物、雜質(zhì)的工藝十分實(shí)用，可確保生產(chǎn)的連續(xù)性，不會(huì)由于清洗過濾器10導(dǎo)致停產(chǎn)。
一二級(jí)羅茨真空泵組包括依次串聯(lián)的第一級(jí)羅茨真空泵1和第二級(jí)羅茨真空泵2。在第一級(jí)羅茨真空泵1的吸氣口設(shè)置有氣動(dòng)閥8。一二級(jí)羅茨真空泵組包括兩組，兩組一二級(jí)羅茨真空泵組并聯(lián)設(shè)置。
將第一級(jí)羅茨真空泵1和第二級(jí)羅茨真空泵2進(jìn)行串聯(lián)設(shè)置，一是可以急劇降低其中的球閥和管路的聯(lián)接，二是把第一級(jí)羅茨真空泵1和第二級(jí)羅茨真空泵2作為一組小系統(tǒng)的單元，當(dāng)任意一臺(tái)真空泵出現(xiàn)故障時(shí)，只須要停止該單元即可。
將一二級(jí)羅茨真空泵組設(shè)置為并聯(lián)的兩組，工藝二氧化碳步入主管道后分為三路，其中兩路分別步入兩組一二級(jí)羅茨真空泵組，另一部步入旁通管道。
還包括第五級(jí)羅茨真空泵3和第三三通切換閥13，第三三通切換閥13的第一端口與第二級(jí)羅茨真空泵2的排氣口聯(lián)接，第三三通切換閥13的第二端口與第五級(jí)羅茨真空泵3的吸氣口聯(lián)接，第三三通切換閥13的第三端口和第五級(jí)羅茨真空泵3的排氣口均與第四級(jí)羅茨真空泵4的吸氣口聯(lián)接。第五級(jí)羅茨真空泵3的排氣口設(shè)有自動(dòng)截至閥7。
由一二級(jí)羅茨真空泵組下來的氣流由第三三通切換閥13直接步入第四級(jí)羅茨真空泵4，或則由第三三通切換閥13步入第五級(jí)羅茨真空泵3后，再步入第四級(jí)羅茨真空泵4。
第三級(jí)真空泵5為兩個(gè)，兩個(gè)第三級(jí)真空泵5并聯(lián)設(shè)置。第三級(jí)真空泵5的吸氣口設(shè)置有氣動(dòng)閥8。
通過以上設(shè)置，第一級(jí)羅茨真空泵1和第二級(jí)羅茨真空泵2是串聯(lián)形式，第一級(jí)羅茨真空泵1和第二級(jí)羅茨真空泵2組成的一二級(jí)羅茨真空泵組與旁通管道是并聯(lián)的形式；第五級(jí)羅茨真空泵3與一二級(jí)羅茨真空泵組是串聯(lián)的形式，第五級(jí)羅茨真空泵3與其旁通管線則是并聯(lián)形式；第四級(jí)羅茨真空泵4通過第一三通切換閥11的設(shè)置，其與第三級(jí)真空泵5既可以是以串聯(lián)的形式，也可以是以并聯(lián)的形式抽吸來自第五級(jí)羅茨真空泵3或則一二級(jí)羅茨真空泵組的二氧化碳，此時(shí)并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9是打開的，而第四級(jí)羅茨真空泵4排氣口的三通切換閥的氣流通道是第四級(jí)羅茨真空泵4排氣口至第三級(jí)真空泵5的排氣口的匯總管線；而當(dāng)?shù)谒募?jí)羅茨真空泵4排氣口的三通切換閥氣流通道切換后，但是并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥9是關(guān)掉時(shí)，此時(shí)來自第五級(jí)羅茨真空泵3或則來自一二級(jí)羅茨真空泵組的二氧化碳先步入第四級(jí)羅茨真空泵4，再通過三通切換閥步入第三級(jí)真空泵5，最后從第三級(jí)真空泵5的排氣口排出，此時(shí)，第四級(jí)羅茨真空泵4與第三級(jí)真空泵5是串聯(lián)的形式。
具體實(shí)現(xiàn)功能：工藝二氧化碳步入到第一級(jí)真空泵前的主管道，該主管道后分為三路，兩路是分別步入兩組一二級(jí)羅茨真空泵組，另一路步入旁通管道，旁通管線上帶有一用一備的過濾器10；在入口壓力比較高的時(shí)侯，兩個(gè)第一級(jí)羅茨真空泵1入口氣動(dòng)閥8門是關(guān)掉的，此時(shí)旁通管道上的旁通調(diào)節(jié)閥6按照入口壓力值有比列的打開一定的開度，致使二氧化碳通過其中的一個(gè)過濾器10再步入到第四級(jí)羅茨真空泵4和第三級(jí)真空泵5入口的主管，主要的目的是：由于兩個(gè)第一級(jí)羅茨真空泵1入口球閥前的壓力是大氣壓，球閥后則是經(jīng)過預(yù)抽，處于較高的真空狀態(tài)(這兒情況的是真空集成系統(tǒng)的第三級(jí)，第四級(jí)真空泵由于須要預(yù)熱或則其它緣由早已啟動(dòng)運(yùn)行)這么由于前后產(chǎn)生巨大的壓差，此時(shí)打開第一級(jí)羅茨真空泵1入口球閥，氣流會(huì)對(duì)所有的真空泵進(jìn)行沖擊，除了會(huì)促使第三級(jí)，第四級(jí)真空泵的電壓頓時(shí)急劇增強(qiáng)，也會(huì)造成第一級(jí)羅茨真空泵1由于氣流作用下失速，即高速跟轉(zhuǎn)而沒有馬達(dá)的牽引超出了最高速率導(dǎo)致機(jī)械故障，或是該馬達(dá)早已在變頻器控制下低速運(yùn)行，會(huì)導(dǎo)致變頻器難以牽引馬達(dá)怠速，導(dǎo)致過速故障。同時(shí)在初粗真空，球閥打開頓時(shí)，由于前后壓差過大，氣流速率極快，雖然后面配置了過濾器10，也必然會(huì)有一定的煙塵和其它雜質(zhì)隨著氣流帶過來，非常對(duì)于批次間歇生產(chǎn)，頻繁開啟球閥，會(huì)有大量煙塵和雜質(zhì)被高速的氣流攜帶，一旦步入真空泵很容易導(dǎo)致卡泵現(xiàn)象。
在本申請(qǐng)中，除非另有明晰的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，比如，可以是固定聯(lián)接，也可以是可拆卸聯(lián)接，或成一體；可以是電聯(lián)接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)器件內(nèi)部的連通或兩個(gè)器件的互相作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以依照具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含意。
本實(shí)用新型的說明書中，說明了大量具體細(xì)節(jié)。但是，才能理解，本實(shí)用新型的施行例可以在沒有這種具體細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在一些實(shí)例中，并未詳盡示出公知的方式、系統(tǒng)和技術(shù)，便于不模糊對(duì)本說明書的理解。
在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)施行例”、“一些施行例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該施行例或示例描述的具體特點(diǎn)、系統(tǒng)、材料或則特征包含于本實(shí)用新型的起碼一個(gè)施行例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性敘述不必須針對(duì)的是相同的施行例或示例。并且，描述的具體特點(diǎn)、系統(tǒng)、材料或則特性可以在任一個(gè)或多個(gè)施行例或示例中以合適的方法結(jié)合。據(jù)悉，在不互相矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同施行例或示例以及不同施行例或示例的特點(diǎn)進(jìn)行結(jié)合和組合。
最后應(yīng)說明的是：以上各施行例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；雖然參照前述各施行例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳盡的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解：其仍然可以對(duì)前述各施行例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行更改，或則對(duì)其中部份或則全部技術(shù)特點(diǎn)進(jìn)行等同替換；而這種更改或則替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各施行例技術(shù)方案的范圍，其均應(yīng)囊括在本實(shí)用新型的權(quán)力要求和說明書的范圍當(dāng)中。
技術(shù)特點(diǎn)：
1.一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，包括一二級(jí)羅茨真空泵組、旁通管道、第四級(jí)羅茨真空泵(4)、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥(9)、第一三通切換閥(11)和第三級(jí)真空泵(5)；所述一二級(jí)羅茨真空泵組和旁通管道并聯(lián)，其進(jìn)氣道與主管道聯(lián)接，出氣口分別于第四級(jí)羅茨真空泵(4)和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥(9)聯(lián)接，所述旁通管道上安裝有旁通調(diào)節(jié)閥(6)；所述第一三通切換閥(11)的第一端口與第四級(jí)羅茨真空泵(4)的排氣口聯(lián)接，第一三通切換閥(11)的第二端口和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥(9)的出氣口均與第三級(jí)真空泵(5)的進(jìn)氣道聯(lián)接，第一三通切換閥(11)的第三端口與第三級(jí)真空泵(5)的排氣口均與排食道聯(lián)接。
2.按照權(quán)力要求1所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)泵串聯(lián)和并聯(lián)的優(yōu)缺點(diǎn)，其特點(diǎn)在于，所述旁通管道上還安裝有過濾器(10)和自動(dòng)截至閥(7)，所述過濾器(10)安裝在旁通調(diào)節(jié)閥(6)和自動(dòng)截至閥(7)之間。
3.按照權(quán)力要求2所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述過濾器(10)為兩個(gè)，兩個(gè)過濾器(10)并聯(lián)設(shè)置，兩個(gè)過濾器(10)與旁通調(diào)節(jié)閥(6)之間、兩個(gè)過濾器(10)與自動(dòng)截至閥(7)之間均通過第二三通切換閥(12)聯(lián)接。
4.按照權(quán)力要求3所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述一二級(jí)羅茨真空泵組包括依次串聯(lián)的第一級(jí)羅茨真空泵(1)和第二級(jí)羅茨真空泵(2)。
5.按照權(quán)力要求4所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述一二級(jí)羅茨真空泵組包括兩組，兩組一二級(jí)羅茨真空泵組并聯(lián)設(shè)置。
6.按照權(quán)力要求5所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，還包括第五級(jí)羅茨真空泵(3)和第三三通切換閥(13)，所述第三三通切換閥(13)的第一端口與第二級(jí)羅茨真空泵(2)的排氣口聯(lián)接，第三三通切換閥(13)的第二端口與第五級(jí)羅茨真空泵(3)的吸氣口聯(lián)接，第三三通切換閥(13)的第三端口和第五級(jí)羅茨真空泵(3)的排氣口均與第四級(jí)羅茨真空泵(4)的吸氣口聯(lián)接。
7.按照權(quán)力要求6所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述第三級(jí)真空泵(5)為兩個(gè)，兩個(gè)第三級(jí)真空泵(5)并聯(lián)設(shè)置。
8.按照權(quán)力要求4所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述第一級(jí)羅茨真空泵(1)的吸氣口設(shè)有氣動(dòng)閥(8)。
9.按照權(quán)力要求7所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述第三級(jí)真空泵(5)的吸氣口設(shè)有氣動(dòng)閥(8)。
10.按照權(quán)力要求6所述的使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，其特點(diǎn)在于，所述第五級(jí)羅茨真空泵(3)的排氣口設(shè)有自動(dòng)截至閥(7)。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，包括一二級(jí)羅茨真空泵組、旁通管道、第四級(jí)羅茨真空泵、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥、第一三通切換閥和第三級(jí)真空泵；一二級(jí)羅茨真空泵組和旁通管道并聯(lián)，其進(jìn)氣道與主管道聯(lián)接，出氣口分別于第四級(jí)羅茨真空泵和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥聯(lián)接，旁通管道上安裝有旁通調(diào)節(jié)閥；第一三通切換閥的第一端口與第四級(jí)羅茨真空泵的排氣口聯(lián)接，第一三通切換閥的第二端口和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥的出氣口均與第三級(jí)真空泵的進(jìn)氣道聯(lián)接，第一三通切換閥的第三端口與第三級(jí)真空泵的排氣口均與排食道聯(lián)接；本申請(qǐng)除了降低功放泵的數(shù)目，又增加羅茨真空泵的高功率馬達(dá)的數(shù)目，實(shí)現(xiàn)了早期抽氣能力大，高真空時(shí)真空度高的特性。
技術(shù)研制人員：榮易
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東格里克真空技術(shù)有限公司
技術(shù)研制日：2020.10.26
技術(shù)公布日：2021.06.29