第31卷第6期2010年12月大連交通大學(xué)學(xué)報(bào)ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＤＡＬＩＡＮＪＩＡＯＴＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＶｏｌ。31Ｎｏ。6Ｄｅｃ。2010文章編號(hào):1673-9590(2010)06-0079-04酞菁銅薄膜制備及其光學(xué)性能劉向1,劉惠2,薛鈺芝1,王克非1(1。上海交通學(xué)院材料科學(xué)與工程大學(xué),江蘇南京;2。上海理工學(xué)院電氣信息大學(xué),廣東上海)＊摘要:采用真空蒸發(fā)的方式在ＩＴＯ玻璃上制備了ＣｕＰｃ薄膜,并用分光光度計(jì)(Ｕ-3310)測(cè)試了四種不同長度的ＣｕＰｃ薄膜的透射/吸收/反射率隨波長變化情況,重點(diǎn)剖析了其中的吸收規(guī)律。結(jié)果顯示波段在340～370ｎｍ和570～720ｎｍ光吸產(chǎn)率基本上在90%左右,在480ｎｍ吸產(chǎn)率最低,大部份光都已透射。同時(shí)用掃描電子顯微鏡對(duì)薄膜進(jìn)行了成份剖析,對(duì)照能譜圖可以看出樣品中富含碳、氧、銅等元素,與酞菁銅薄膜元素組成成份相符。關(guān)鍵詞:酞菁銅;半導(dǎo)體薄膜;真空蒸發(fā)鍍膜文獻(xiàn)標(biāo)示碼:Ａ0序言酞菁類化合物因具有一些特殊性質(zhì)如半導(dǎo)體特點(diǎn)、光濁度體性等,相當(dāng)長一段時(shí)間里遭到了人們的廣泛關(guān)注。
在可見光區(qū)除了吸收范圍寬、吸收系數(shù)大,并且具有極好的物理、熱及光穩(wěn)定性[1-3]。ＣｕＰｃ薄膜在有機(jī)發(fā)光元件、有機(jī)太陽能電板[4-5]、靜電打印感光鼓等方面具有廣泛的應(yīng)用前景,國外外對(duì)ＣｕＰｃ薄膜的光敏性、氣敏性和非線性等作了較多的研究[6-8],但對(duì)于長度與光學(xué)特點(diǎn)的關(guān)系研究的較少,本文采用蒸發(fā)的方式得到酞菁銅薄膜,研究了不同長度與薄膜透射、反射和吸收的關(guān)系。1實(shí)驗(yàn)方式本文研究的酞菁銅薄膜采用廣州儀器廠生產(chǎn)的ＤＭＸ-220Ａ大型鍍膜機(jī)制備。襯底氣溫為溫度,襯底采用ＩＴＯ玻璃片。酞菁銅原料采用北京百靈威的酞菁銅試劑,經(jīng)過多次升華提純得到的高含量酞菁銅粉末薄膜制備,含量達(dá)到99。9%以上。在鍍膜過程中工作室真空度保持在(2～3)×10-3Ｐａ。蒸發(fā)舟用自制的寬2ｃｍ的鉬片,蒸發(fā)電壓控制在一定的范圍內(nèi)。本實(shí)驗(yàn)表面形貌所采用的是ＪＳＭ-6360ＬＶ型高低真空掃描電子顯微鏡,放大倍數(shù)達(dá)80000倍。薄膜的吸收波譜紫外、可見分光光度計(jì)(Ｕ-3310)剖析。采用ＣＨＦ-ＸＭ500氙氣模擬太陽光做為光源,微電壓的檢測(cè)用“Ｋｅｔｈｅｌｙ6485ｐｉ-ｃｏＡｍｍｅｆｅｒ”,測(cè)試環(huán)境均在溫度下進(jìn)行。
2結(jié)果剖析2。1薄膜吸收/透射/反射的測(cè)量實(shí)驗(yàn)采用紫外、可見分光光度計(jì)(Ｕ-3310),Ｕ-3310型的分光光度計(jì)由光源、分光系統(tǒng)、測(cè)量系統(tǒng)和接收顯示系統(tǒng)組成,光源燈由電子穩(wěn)壓裝置供電;分光系統(tǒng)是儀器的核心,由狹縫、準(zhǔn)半徑和棱鏡組成;檢測(cè)系統(tǒng)由推拉架、比色皿架和暗室組成;接收顯示系統(tǒng)由光電管接收,經(jīng)電子線路放大,再由水表指示。圖1為透射率檢測(cè)裝置簡(jiǎn)圖。圖1透射率檢測(cè)裝置簡(jiǎn)圖＊收稿日期:2010-03-15作者簡(jiǎn)介:劉向(1979-),男薄膜制備,講師,博士研究生,主要從事新型光電元件、光伏系統(tǒng)的研究Ｅ-ｍａｉｌ:ｌｉｕｘｉａｎｇ@ｄｊｔｕ。ｅｄｕ。ｃｎ。
