本期主題:
環石(主播)
歡迎關注芯片揭秘! 我是主播浣石。 本期我們邀請了一家非常有趣的公司——沉陽隆基電磁技術有限公司。此刻坐在我旁邊的是隆基電磁的工程師劉波先生。 據我了解,你們生產的產品比較小眾,而且你們位于重工業基地。 我迫不及待地想請您跟大家分享一下您是一家什么樣的公司?
劉波(客座)
我所在的沉陽隆基電磁公司從事磁性設備的生產,主要應用于礦山、環保、半導體等領域。 磁懸浮機多用于采礦領域,金屬回收主要用于環保領域,單晶磁場用于半導體行業。
環石(主播)
這些對于我們來說還比較陌生。 請詳細說明:單晶磁場應用于半導體行業的哪些方面? 它解決什么問題?
劉波(客座)
單晶磁場主要用于拉晶和生長階段。 晶體生長階段是指生長中的晶體熔化并變成單晶的階段。 磁場的主要作用是抑制拉晶過程中的熔體對流,以提高單晶的整體質量。 主要指標看均勻度,因為拉制的晶棒需要切片。 切片后,每片硅片對電阻率的均勻性都有要求。
環石(主播)
這個磁場是長單晶的爐體內部還是爐體外部?
劉波(客座)
爐外。 就像地球上有磁場一樣,我們所做的就相當于給單晶提供了一個磁場。
單晶磁場工藝流程圖(來源:沉陽隆基電磁技術有限公司官網)
環石(主播)
這項技術是本地發明的還是國外的? 有沒有什么淵源呢?
劉波(客座)
事實上,首先是我們的客戶提出了這個要求。 在此之前電磁鐵的應用,我們主要生產磁性產品。 比如一些除鐵設備、采礦設備等。最早的客戶之一是中晶半導體。 它的前身是西安隆基,也和我們沉陽隆基有著密切的關系。 當時,這種磁拉技術在國外已經存在,但在國內卻很少使用。 他們抱著嘗試的態度來找我們,想看看我們是否可以合作生產出第一個實驗產品。 后來我們就這么做了,效果很明顯,所以我們就慢慢開發,直到現在我們已經實現了產品的量產。
環石(主播)
也就是說,你已經成功形成了一條產品線。 目前隆基的這個業務板塊在中國有很多客戶嗎?
劉波(客座)
相對來說還是不少的,因為我們的產品主要是4寸到6寸的小晶錠。 對于大型晶棒,需要采用超導方法,目前我們正在開展這方面的研究。
環石(主播)
在這個技術方向上,目前在國內處于什么水平? 那么國際上呢?
劉波(客座)
小晶錠常規導電技術國內相對先進; 我們也在了解國際上大晶錠超導的方向。 事實上電磁鐵的應用,國外在永久指導領域使用較少。
環石(主播)
我知道很多第三代半導體都是基于4英寸和6英寸晶圓。 您的技術是否適合有此類需求的客戶?
劉波(客座)
是的。
環石(主播)
這其中有哪些技術難點? 門檻高嗎?
劉波(客座)
首先,我們需要有一定的物理基礎,因為磁是看不見、摸不著的,這就需要我們有理論知識和儲備; 另外,我們還要與客戶現場進行實際應用,通過各種案例的實驗,最終設計出最適合的市場。 產品,兩者需要結合起來。
單晶磁場應用圖(來源:沉陽隆基電磁微信公眾號)
環石(主播)
你有技術背景。 您認為未來發展的技術難點是什么?
劉波(客座)
事實上,目前國產集成電路大晶錠已經發展得很好,但在磁場方面,主要依賴日本、美國、英國等國家的超導技術。 國內與國外仍有差距。 我們專門研究磁的方向,所以以后肯定會往超導方向發展。
磁場直拉單晶爐示意圖(來源:《功能材料與器件學報》第6卷第4期)
環石(主播)
面對這樣的發展趨勢,您認為挑戰會在哪里?
劉波(客座)
主要原因是技術突破。 當然與國外相比還有一定的差距,但是我們是搞技術的,好學的。 首先,我們要對自己有信心,更要對我們的國家有信心,對我們的人才有信心。
環石(主播)
您能談談超導應用后和你們現在的技術有什么區別嗎? 為什么大家都在向超導靠攏?
劉波(客座)
主要問題是物質。 超導狀態下沒有電阻,這是傳統導體做不到的。 另外,超導可以提供更強的場強,這會對晶棒在生長過程中產生更好的抑制作用。 晶棒越大,相越小。 相應的場強也更強。
環石(主播)
聽起來這是一個材質決定最終效果的區域。 那么材料怎么獲得呢? 自行開發還是外包?
劉波(客座)
外包。
環石(主播)
外包會擔心被禁運嗎? 聽說高級材料不太好買。
劉波(客座)
目前來說還可以,可以購買。
環石(主播)
有很多人這樣做嗎? 您對人才專業背景要求高嗎?
劉波(客座)
相對來說還是比較高的,因為畢竟涉及到一些微利基的基礎學科,與實際應用和專業領域相關性更強。
環石(主播)
我看得出你能保持孤獨,并且在磁學領域深耕了20多年。
劉波(客座)
是的,我們相信既然要做一件事,就一定要把它做到最好。
環石(主播)
你們提供FAE(Field,現場技術支持工程師)服務嗎? 客戶對您有何評價?
劉波(客座)
我也做過售后工作,客戶普遍認可我們的產品。
環石(主播)
現在有很多熱門曲目。 您是否想過改變創業方向?
劉波(客座)
慣于。 我具體負責半導體業務,今后也會繼續這樣做。 我覺得這對我來說是非常有挑戰性的,也是非常快樂的。 整個產品從設計到生產,再到客戶驗證認可,是一個我非常享受、很有成就感的過程。
環石(主播)
和你交談至今,我的感覺是你很放松,這真是難得。 我們和很多其他做半導體前端設備的人交流,很難遇到這樣的情況。 不知道是不是因為你對自己所做的這一部分已經非常熟悉了? 您是否與其他半導體設備制造商進行過溝通? 同伴之間會互相交流嗎?
劉波(客座)
主要是和拉單晶的原料廠接觸比較多。
環石(主播)
需要跟他們的原料廠合作嗎?
劉波(客座)
當然。 比如設備的爐型、現場安裝條件等都需要協調。 其實我們相當于做配套設備,因為具體的拉晶工藝等也是比較保密的。
環石(主播)
如何驗證產品是否合格、有效? 您是否遇到過與客戶發生權利和責任糾紛的情況?
劉波(客座)
目前來看還真沒有這樣的事情,因為我們前期已經充分驗證了產品的效果,技術也比較成熟。
環石(主播)
說明我們已經過了摸著石頭過河的階段了。 除了半導體行業之外,您能告訴我們您的另外一兩個應用方向嗎? 我們來擴展一下它能解決哪些問題?
劉波(客座)
例如,我們生產用于環保行業的磁性產品。 比如,一些生活電子垃圾,包括手機、汽車等,破碎后會混入一些銅、鋁等金屬,需要回收利用。 我們的設備可以利用磁渦流效應。 有效回收這部分金屬。
環石(主播)
它能自動提取這些金屬嗎?
劉波(客座)
磁渦流實際上是通過磁斥力形成反向磁場。 當銅或鋁等金屬通過時,它們會受到排斥力的作用而被彈出,從而達到分離和回收的目的。
環保金屬回收現場(來源:沉陽隆基電磁技術有限公司官網)
環石(主播)
最后,通過我們的芯片揭秘專欄,您想向業界發出一些呼吁和聲音嗎?
劉波(客座)
希望這個行業能夠穩步前進,一步步進步。 我們也會根據客戶的需求,把產品做得更好,不斷迭代,提升品質,為客戶帶來更好的產品。
主播環時與嘉賓劉波合影
長期以來,我國半導體產業核心技術被國外控制。 在全球半導體產業鏈中一直處于價值鏈低端,配套設備產業發展也相對滯后。
2015年以來,隨著國家對半導體產業的重視和市場需求的不斷增加,如何升級單晶磁場技術成為整個行業需要面對的痛點之一。
2016年,具有自主知識產權的新一代單晶磁場設備研制成功。 真空自動收塵技術不僅延長了單晶爐的連續運行時間,降低了拉晶成本,而且提高了單晶質量,實現了連續拉晶。 200小時。
雖然美國、日本等國家的磁拉技術相對成熟和先進,但國內相應技術領域已取得初步成果,這也為未來的發展鋪平了道路。