在版圖的世界里,無論你是使用S家的還是C家的流程,大部份人在最后一道關口:化學驗證上就會碰到M家(現今早已歸于帳下)的高手了,就像門將一樣掌控著最后一道關口:
在數學驗證的領域里,說第二,沒有人敢說第一。就此論,歷史上還有一段和的對決的佳話,這兒我們姑且按下不表,之后有機會再聊舊事。明天,還是以技術工程師身分一起走入化學驗證的這道房門。
化學驗證是哪些東東?
化學驗證一般有兩個縮寫
沒有本質區別,只是習慣不同而已,所以在日常溝通的時侯,倘若一言不合,一定要再試試第二言哦。
化學驗證:基于設計的GDS(Data,目前是第二代GDS,通常也會寫作GDSII,早已成為業界的標準格式了。GDS的第一版基本作古,現今的提及的GDS雖然都是指的是GDSII了,目前的版權屬于C家),使用RSF(Run-Set-File)的數學規則描述文件對GDS版圖進行檢測。常用的工具有、ICV等,比較老的工具有,等。如前述,目前比較通用就是了。隨著先進工藝的不斷變遷,近來幾年S家也開始跟隨工藝趨勢在LV市場上加碼質量簡寫物理,ICV(IC)就是S家近來幾年在先進工藝領域力推的工具。在過往常用的工藝里面,大部份的RSF都是基于的SVRF(Rule)、TVF(Tcl)句型格式的,可見在業界悠久的影響力。
隨著工藝節點的越來越小,芯片的GDS數據量越來越大,為了易于文件傳輸,形成了OASIS(Open)格式,文件更小傳輸更方便,也是SEMI力推的下一代版圖數據格式,用于取代早已服役30多年的GDS格式。
化學驗證的分類
基于版圖數據的特性,化學驗證主要分為兩個方向
對應到日常工作是如下的分類:
電氣性能檢測
對于工具而言,也有對應的命令選項描述
的使用之道LV簡明流程
對于版圖編輯,相信更多的人會使用,而且對于版圖查看,手動化處理,以及版圖檢測是不錯的選擇。對于GDS紋樣配置、圖層切換、DRC高亮顯示以及GDS手動化處理等操作的支持都很優秀。下邊就一上去看一看的日常使用之道吧。
數字(ICC/)模擬()版圖工具導入的GDS使用進行GDS初處理
-GDSmerge
-dummyfill
-添加標簽或則個別特殊版層,例如:創建GDS標記的文本使用()進行肉眼速查基于工藝的RSF對版圖質量檢測再第三步驟的旁邊,激起RVE(),加載版圖檢測結果,找到問題緣由,在APR工具上面進行相應的修補,并導入GDS重復步驟1~5,直到所有的數學驗證結果正確無誤,而后觸發最終的TO
上述的步驟質量簡寫物理,在實際的工作中主要會用到兩個工具
RSF的使用和方法
的版圖檢測須要使用遵照SVRF句型規則的RSF,因為RSF(一般也被FAB稱為)都是基于工藝和FAB的流片需求,用戶是不用干預里面的細節配置,并且全局的配置是須要當心維護,這兒以用戶的DRCRSF為例:
基于工作便捷,用戶可以創建類似上述事例RSF可以實現對主要部件的自定義配置和調整
命令釋義
GDSII
標明數據庫數據類型
PATH“.gds”
主文件路徑
“”
頂樓設計名
DRC“drc.db”ASCII
文本格式的DRC結果文件路徑
DRC“.rpt”
DRC報告文件路徑
DRCALL
DRC結果記錄數目配置
“drc.rsf”
工藝主DRCRSF路徑定義
后面的項目都是須要用戶自行配置,最后一個是FAB的提供的DRCRSF。使用RSF的用處是,項目上面多個用戶可以使用本地的RSF去配置自己設計的具體需求,主RSF還是引用項目的RSF即可。項目的RSF有專業人員進行維護,確保項目的化學檢測規則安全性。
對于工藝的DRCRSF文件里面,這兒也分享一下里面的全局關鍵配置:
層次描述
M1
第一層metal,通常用于BE和FElayer層次的聯接用
Mx
從第二層開始的外層繞線層
Mz
芯片的最高層選項一
My
芯片的最高層選項二
Mr
芯片的最高層選項三
Mu
芯片的最高層選項四
RDL
重分布繞線層,可以和PA進行聯接
用戶在檢測DRC的時侯,須要使用和設計版層配置一致的RSF,例如項目選擇的是九層結構,一層M1,外層五層,兩層My和一層Mz,FAB一般是按照版層配置提供的RSF,這么用戶須要選擇如下版層結構的的RSF:
9M_5X2Y1Z.drc.rsf
項目全芯片模塊級別
PADring
Yes
NA
sealring
Yes
NA
邊角斜切影響
Yes
NA
邊界密度()
Yes
NA
BUMP
Yes
NA
注意這兒列舉是版圖里的優缺,但并非所有的項目就會被RSF的full-chip配置所覆蓋,具體的情況還須要具體剖析,而且有一條必須銘記,全芯片級別的LV,一定須要打開下述選項!
本章詞匯詞匯釋義
公司的版圖驗證工具
RSF
版圖驗證工具規則描述文件的總稱,也被叫做DRC
,用于版圖GUI查看
,版圖驗證結果查驗工具
SVRF
Rule,RSF文件句型規范之一
TVF
Tcl,RSF文件句型規范之一
GDS
Data,業界流行的版圖文件格式
OASIS
Open,下一代版圖文件格式的有力競爭者
RDL
,重分布繞線層
【敲黑板劃重點】
基于數學圖形和電氣性能驗證的功能是十分強悍的,它的周邊衍生產品不下30個,對你們來說常用的也就兩三個,理解的基本工作原理就變得比較重要了。把控好RSF的配置,控制好LV的質量,從的RVE里面找到問題的癥結,快速高效的得到可以流片的GDS,才可以有效彰顯的價值!
讀者須知:處于抒發便捷和技術保密細則,上述技術細節描述可能會存在通配符或別稱,請讀者周知和理解